化学溶液沉积法制备Pb0.5Ba0.5TiO3薄膜的结构及电学性能研究

陈如麒; 朱贵文; 刘为方

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化学溶液沉积法制备Pb_0.5Ba_0.5TiO₃薄膜的结构及电学性能研究

研究论文 | 更新时间：2023-12-11

- 化学溶液沉积法制备Pb_0.5Ba_0.5TiO₃薄膜的结构及电学性能研究
- Structural and Electrical Properties of Pb_0.5Ba_0.5TiO₃Thin Film Using a Chemical Solution Deposition Method
- 中山大学学报(自然科学版)(中英文) 2012年51卷第6期
- 作者机构：
  
  1. ．华南农业大学公共基础课实验教学中心,广东,广州,510642
  2. 广东药学院基础学院,广东,广州,510006
  3. 韩华新能源（启东）有限公司,江苏,南通,226200
  4. 中山大学物理科学与工程技术学院∥光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版日期：2012，
  
  网络出版日期：2012-11-25，
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陈如麒, 朱贵文, 刘为方. 化学溶液沉积法制备Pb_0.5Ba_0.5TiO₃薄膜的结构及电学性能研究[J]. 中山大学学报(自然科学版)(中英文), 2012,51(6).

CHEN Ruqi, ZHU Guiwen, LIU Wenfang. Structural and Electrical Properties of Pb_0.5Ba_0.5TiO₃Thin Film Using a Chemical Solution Deposition Method[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunYatseni, 2012,51(6).
陈如麒, 朱贵文, 刘为方. 化学溶液沉积法制备Pb_0.5Ba_0.5TiO₃薄膜的结构及电学性能研究[J]. 中山大学学报(自然科学版)(中英文), 2012,51(6). DOI：

CHEN Ruqi, ZHU Guiwen, LIU Wenfang. Structural and Electrical Properties of Pb_0.5Ba_0.5TiO₃Thin Film Using a Chemical Solution Deposition Method[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunYatseni, 2012,51(6). DOI：

摘要

采用化学溶液沉积法在Pt/TiO

/SiO

/Si基片上制备钛酸铅钡Pb

0.5

TiO

(PBT) 薄膜。薄膜呈纯钙钛矿结构，无杂相生成。此外，薄膜表面光滑致密、没有微裂痕．薄膜得到的晶粒尺寸较小，约为17 nm。在700 ℃ 1 h退火的薄膜有良好的电学特性，在1 kHz频率下测量得到的介电常数、损耗因子分别约为265和5 %；此外，在500 kV/cm电场驱动下，薄膜得到的剩余极化（2P

）约为16μC/cm

矫顽电场（E

）约为110 kV/cm。这些结果表明，PBT固溶体薄膜有望成为铁电器件的候选材料。

Abstract

0.5

TiO

(PBT) thin films were prepared on Pt/TiO

/SiO

/Si substrates by using a chemical solution deposition method. The thin films were phasepure with perovskite structure

no secondary phase was observed. Meanwhile

they were smooth

density and crack-free with small grain size of about 17 nm. Good electrical properties were observed in the films annealed at 700 ℃ for 1 h. The dielectric constant and the dissipation factor (at 1 kHz) were 265 and 5 %

respectively. Driven by a electric field of 500 kV/cm

PBT showed 2 Pr of and Ec of 110 kV/cm. These suggested that PBT had potentials in applications of ferroelectric devices.

关键词

钛酸铅钡PBT介电铁电化学溶液沉积法

Keywords

Pb0.5Ba0.5TiO3PBTdielectricferroelectricchemical solution deposition method

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